产品详情
模块化的 SEM 平台适用于直观操作、例行检测和研究应用
EVO系列将高性能的大连扫描电镜和直观的、友好的用户界面体验结合在一起， 同时能够吸引经验丰富的用户以及新用户。无论是在生命科学， 材料科学， 或例行的工业质量保证和失效分析领域，凭借广泛的可选配置， EVO 都可以根据您的要求量身定制。
显微镜中心或工业质量保证实验室的多功能解决方案
不同的真空室大小和可满足所有应用要求的载物台选项-甚至是大型工业零部件样品
使用LaB6灯丝，能够得到优异的图像质量
对不导电和无导电涂层的样品的成像和分析性能出色
可以配置多种分析探测器用于满足各种显微分析应用的需求
SmartSEM Touch可以通过使用您的指尖与其进行交互式工作流程控制。它简单易学， 大大减少了培训所付出的努力和成本，甚至新用户在几分钟内也能够捕捉令人惊叹的图像。此用户界面还支持需要自动化工作流程以执行可重复检查任务的工业操作员。 |  优异的图像质量
EVO 擅长于对未经处理和没有导电涂层的样品获取高质量的数据。EVO 还允许样品保留其原始状态， 维持含水和重污染样品的数据质量。此外当成像和微量分析面临挑战时，选用LaB6灯丝则能够给予更好的分辨率、 对比度和信噪比。
|  EVO 能够与其它设备相关联
EVO可以作为半自动、多模式工作流程的一部分，通过重新定位感兴趣区域，并以多种方式收集数据，形成信息的完整性。将光学和电子显微镜图像合并起来进行材料表征或零件检验，或者将 EVO 与蔡司大连光学显微镜相关联，进行关联颗粒度分析。 |
适合更多用户操作
对于经验丰富的以及新手用户操作都很方便
在实际的实验室环境中，SEM 的操作通常是显微镜专家的专属领域。但是对于非专家级用户来说，操作SEM就变得具有挑战，比如学生、受训者或质量工程师，他们往往也需要从 SEM获取数据。 EVO 则同时考虑了这两类用户的需求，用户界面选项既能满足有经验的显微镜专家也能满足非专业用户的操作需要。
蔡司EVO应用案例：制造与装配工业
典型任务与应用
■质量分析1质量控制
■失效分析/金相研究
■清洁度检验
■对颗粒进行形态和化学分析，以符合ISO 16232 和VDA 19 part 182的标准
■非金属夹杂物分析
蔡司EVO的优点
■通过三种不同规格的样品室提高样品灵活性;更大样品重量可达5kg;样品的高度和宽度分别可达210 mm和300 mm
■智能成像和自动化工作流程可以实现高效的用户交互
■针对每类样品优化设置
■适用于非导电复合材料、纤维、聚合物和织物成像的可变压力(VP) 技术
■使用C2D二次电子探测器完成可变压力成像，以提高数据质量
■用于形貌与化学分析的全集成式颗粒分析和识别解决方案(SmartPI)
蔡司EVO应用案例：钢和其它金属
典型任务与应用
■结构的成像和分析，金属样品和夹杂物的化学特性与晶体结构
■相、颗粒度、焊点和失效分析
蔡司EVO的优点
使用EVO性能出众的背散射电子(BSE)探测器获取铁素体钢、奥氏体钢、马氏体钢或二联钢和合金的清晰组分与晶体信息。
充分利用易操作的样品室门和稳固耐用的样品台来加装拉力试验机、纳米压痕仪和加热模块，以实现金属样品的精细表征。
EVO出色的EDS几何设计可用于完成高作业量、高精度的X射线分析。此外，其灵活的端口配置能为EBSD创建共面几何结构,用以进行晶界、相识别及应变与滑移系统活动的微观结构表征。
出色的光束稳定性可用于在大面积样品上进行长时间EDS和EBSD采集，以确保始终如一地提供可靠且可重复的结果。
蔡司EVO应用案例：半导体与电子元器件
典型任务与应用
■电子元器件、集成电路、MEMS装置和太阳能电池的光学检测
■铜线表面和晶体结构检测
■金属腐蚀检测
■横截面失效分析
■焊脚检测
■电容器表面成像
蔡司EVO的优点
BSE和C2D等一系列探测器，可在VP模式下对半导体材料进行超高衬度形貌和组分成像，无充电假象。
可选的电子束减速系统能够在更低加速电压下提供超高分辨率，允许您观察太阳能电池和集成电路的真实表面细节。
EVO的灵活性使其可以运用大量第三方的测量与分析模块，包括EBIC和纳米探针，用以进行p-n结表征和集成电路失效分析。
蔡司EVO应用案例:材料科学研究
典型任务与应用
■在研究应用中表征导电和非导电材料样品
蔡司EVO的优点
EVO可用于安装一系列成像探测器。在装备SE和BSE探测器、束流减速装置及共面EDS和EBSD几何结构后，EVO将成为一-款灵活的材料分析用研究工具。
快速简便地在高真空和可变压力模式之间进行切换，进行导电和非导电样品检测。
先进的蔡司探测器技术，包括级联电流探测器(C2D)和扩展级联电流探测器(C2DX),可在扩展压力模式和水蒸气环境下操作，完成聚合物、塑料、纤维和复合物的出色成像。
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